BådeVakuumpumpe og kompressorer enheter for å behandle gass, men deres arbeidsprinsipper og anvendelsesomfang er forskjellige.
Hovedfunksjonen til vakuumpumpen er å fjerne gassen fra reaksjonskammeret for å redusere trykket i beholderen for å oppnå en forhåndsbestemt vakuumgrad. Gassen trekkes ut fra rommet gjennom sug og eksosmekanisme for å danne en vakuumtilstand. Vakuumpumper brukes vanligvis i laboratorier, produksjons- og produksjonsfelt. I wafer fabs, etsningsutstyr, avsetningsutstyr, EUV -litografiutstyr, ionimplantasjonsutstyr, deteksjon og karakteriseringsutstyr, etc. må alle støvsuges.
Kompressorens funksjon er å inhalere gass og komprimere den, øke trykket på gassen, komprimere gassen til et mindre volum og øke tettheten og trykket til gassen. Dets arbeidsprinsipp er å komprimere gassen gjennom eksosventilen, og deretter legge den komprimerte gassen i en bensintank eller annet utstyr. Kompressorer brukes vanligvis i prosesserings- og produksjonsfelt. CDA -gassen vi ofte snakker om er levert av kompressoren. CDA brukes til å kontrollere forskjellige automatiseringsutstyr og ventiler. For produksjon av halvleder må CDA være veldig ren og tørr. Luftutgangen fra kompressoren må passere gjennom et sofistikert filtreringssystem for å fjerne olje, fuktighet og andre partikler for å sikre at det ikke er noen forurensning av skiven.
Hva er kategoriene avVakuumpumpe og kompressor?
I halvlederutstyr brukes ofte tørre pumper og molekylære pumper. En tørrpumpe refererer til en vakuumpumpe som ikke bruker noen væske som tetnings- eller kjølemedium, og unngår problemet med oljedampforurensning. Det brukes vanligvis til grovt vakuumekstraksjon av halvlederutstyr. Molekylære pumper kan oppnå ekstremt høye vakuumnivåer. Tørre pumper og molekylære pumper brukes ofte i kombinasjon i halvlederutstyr for å imøtekomme behovene til forskjellige vakuumnivåer.
Kompressorer kan deles inn i stempel, skrue, sentrifugal, roterende vingeluftkompressorer, etc.
På grunn av de forskjellige designene og arbeidsprinsippene for vakuumpumpe og kompressor, kan ikke vakuumpumper erstatte kompressorer. Selv om vakuumpumper kan redusere trykket og tettheten av gasser, kan de ikke komprimere gasser til mindre volumer og høyere trykk. I tillegg, på grunn av de begrensede ytelsene og arbeidsegenskapene til vakuumpumper, er de best egnet til å håndtere gasser med lav tetthet og miljøer med lavt trykk.
Derfor, hvis gass må komprimeres til et mindre volum og høyere trykk, bør en kompressor brukes. Tvert imot, hvis gassen må trekkes ut og en vakuumtilstand dannes, bør en vakuumpumpe brukes.
Selv om begge delerVakuumpumpe og kompressorer enheter som brukes til å behandle gass, det er store forskjeller i design- og arbeidsprinsipp. Selv om vakuumpumpen kan redusere trykket og tettheten av gassen, kan den ikke erstatte kompressoren, spesielt når gassen må komprimeres til et mindre volum og høyere trykk.
